掃描電鏡(SEM)是用電子槍射出電子束聚焦后在樣品表面上做光柵狀掃描的一種方法,它通過探測電子作用于樣品所產(chǎn)生的信號來觀察并分析樣品表面的組成,形態(tài)和結(jié)構(gòu)。入射電子作用于樣品會激發(fā)多種信息,如二次電子,背散射電子,吸收電子,俄歇電子,陰極熒光,特征X射線等等。掃描電鏡(SEM)主要是通過二次電子,背散射電子和特征X射線(XRD)信號來分析試樣表面特性。場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,其基本原理是利用高能束電子射向樣品表面,觀察和分析樣品表面形貌、微結(jié)構(gòu)和...
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