場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡都是利用電子束掃描樣品表面,通過(guò)檢測(cè)反射或散射的電子信號(hào)來(lái)獲取樣品表面形貌和成分信息的設(shè)備。然而,它們?cè)陔娮釉?、分辨率、操作條件等方面存在一些顯著的區(qū)別。1、電子源:場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡使用的是場(chǎng)發(fā)射電子槍,而傳統(tǒng)的SEM通常使用的是熱發(fā)射電子槍。場(chǎng)發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生更細(xì)的電子束,因此具有更高的分辨率。2、分辨率:由于電子束更細(xì),其分辨率通常比傳統(tǒng)SEM高。其分辨率可以達(dá)到納米級(jí)別,甚至亞納米級(jí)別,而傳統(tǒng)掃描電鏡的分辨率通常在微米級(jí)別。...
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